Tokki所垄断,不亚于光刻机,这家中国公司打破技术瓶颈

日期:2020-12-03 18:02:29   来源:互联网   编辑:小优   阅读人数:132

在芯片制造过程中,光刻机是核心设备之一;而在OLED面板生产中,真空蒸镀机也是必不可少的关键设备。可以说,真空蒸镀机在半导体领域的地位,不亚于光刻机。

然而,目前EUV光刻机被ASML牢牢抓在手中,而真空蒸镀机市场则被企业Canon Tokki所垄断。Canon Tokki可以说是扼住了OLED产业的喉咙。

Tokki所垄断,不亚于光刻机,这家中国公司打破技术瓶颈(图1)

同光刻机一样,Canon Tokki的真空蒸镀机虽然售价过亿美元,但依旧被顾客抢购一空,处于供不应求的状态。

为何Canon Tokki的产品如此受欢迎?这是因为,其真空蒸镀机能将误差控制在5微米以内,从而大大提升良品率。三星在OLED领域能有如今的成就,便少不了Canon Tokki在设备上的默默支持。

Tokki所垄断,不亚于光刻机,这家中国公司打破技术瓶颈(图2)

而我国,虽然已经成为全球显示面板大国,但在相关设备、材料等方面,仍被海外企业卡脖子。这让我国半导体显示领域危机四伏。

不过,近年来我国许多相关企业不断努力,正努力填补我国的这片空白。

11月29日,由山东国晶新材料有限公司生产的全球首批OLED蒸镀用陶瓷点源实现交付。陶瓷点源是显示面板蒸镀机的核心部件,山东国晶的突破对我国OLED产业的发展,有着重要的意义。

Tokki所垄断,不亚于光刻机,这家中国公司打破技术瓶颈(图3)

山东国晶的新型陶瓷点源拥有自主知识产权,采用了独创的符合陶瓷加入技术,并拥有速率稳定、抗污染能力优秀、抗热震性能强等优点。

对于公司在陶瓷点源上的突破,山东国晶总经理刘汝强表示:这将推动OLED面板生产良品率、生产效率的提升,并降低生产成本。

Tokki所垄断,不亚于光刻机,这家中国公司打破技术瓶颈(图4)

2018年,京东方与山东国晶达成合作关系,启动点源创新研发工作。在这一过程中,山东工信、科技、发改等部门也给予了不小的支持。最终,在各方的共同努力下,新型陶瓷点源成功问世。

这有利于推动中国OLED企业的发展,对京东方在OELD产业上的进程,尤其起到了重要的推动作用。

Tokki所垄断,不亚于光刻机,这家中国公司打破技术瓶颈(图5)

譬如,欣奕华蒸镀设备填补了我国的空白,其一代、二代蒸镀机成功实现量产。又比如,合肥莱德设备攻克OLED蒸镀机技术,并在今年实现了下线出货,令人瞩目。

相信在众多企业的共同努力下,我国OLED产业的国产替代率将进一步提升,实现自主可控。

文/BU审核/子扬 校正/知秋

本文相关词条概念解析:

光刻机

光刻机/紫外曝光机(MaskAligner)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫MaskAlignmentSystem.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。Photolithography(光刻)意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

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